重慶新佳合分享潔凈室控管之項目及潔凈室的分類

1. 潔凈室控管之項目

1) 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2) 能不讓微塵粒子之產生。

3) 溫度和濕度之控制。

4) 壓力之調節。

5) 有害氣體之去除。

6) 結構物與隔間之氣密性。

7) 靜電之制。

8) 電磁干擾。

9) 因素之考慮。

10) 節能之考量。

2. 潔凈室之分類

1) 亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室1,000-100,000。

優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。 

2) 層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率百分之一百之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

A. 水平層流式：水平式空氣自過濾器方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

B. 垂直層流式：房間天花板以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板相當占空間，維修替換過濾器較麻煩。

3) 復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部潔凈之空氣。

A. 潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度增加至10以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予，以不讓機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

B. 潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度類別提至100以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

C. 并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室類別10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

潔凈工作臺：等級1~100。

潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以透明塑料布圍成一小空間，采用HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較之潔凈空間，其為10~1000，在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。